晶圆制造自动化物料运输系统调度 国家科学技术学术著作出版基金资助项目,晶圆制造AMHS研究参考书
《晶圆制造自动化物料运输系统调度》为国家科学技术著作出版基金资助图书,在总结作者多年研究成果的基础之上,系统全面介绍了晶圆制造系统中AMHS建模、AMHS运行特性分析、AMHS调度方法、调度性能评价等内容,有很高的参考价值。
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