等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 张海洋 等 半导体工厂制造工艺技术教程书籍 低温等离子体蚀刻技术专业教材书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中
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张海洋 /2020-02-04 /清华大学出版社
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激光原理与技术实验
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崔小虹,张海洋,王庆 著 /2019-07-01 /北京理工大学出版社
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