微机电系统基础（英文版）,刘昶著,机械工业出版社,9787111231677
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刘昶著 /2008-01-01 /机械工业出版社
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微机电系统基础（英文版）
本书特色：均衡了不同背景的学生（机械工程系学生和电子工程系学生）的需求。均衡地讨论了MEMS基础知识的三个支柱：设计、制造和材料。均衡地安排了理论基础和实践。
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（美）刘昶（Chang，L.） 著 /2008-01-01 /机械工业出版社
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