晶圆制造系统是半导体产业链中*为复杂和昂贵的环节，先进的生产调度技术对于晶圆制造系统所产生的经济效益尤为重大，在制品水平每降低1%将减少数百万元的成本，而制造周期每缩短1%将增加数千万元的产出。本书旨在提供系统的晶圆制造并行机调度问题分析以及算法设计方法，为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究晶圆制造调度问题提供理论基础，为推动晶圆制造调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。本书主要面向研究者和生产管理人员，其中包括将要进行晶圆制造系统调度优化方面研究的学者，和工业界中期望寻找有效的晶圆制造系统调度方法的生产管理人员。本书也可作为机械工程、工业工程、自动化、计算机工程、管理工程等相关专业的研究生和高年级本科生的教
¥59.60定价：¥79.00 (7.55折)
