等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用(第2版) “十三五”国家重点图书出版规划,作者团队在半导体工厂工作多年,掌握业界领先的制造工艺
张海洋等作者有着深厚的学术根基以及丰富的产业经验,其带领的团队是多年来在半导体工厂一线工作的科研人员,掌握了业界领先的制造工艺。他们处理实际问题的经验以及从产业出发的独特技术视角,将给读者带来启发和帮助。本书理论与实际相结合,紧跟国际技术前沿,填补国内外相关图书空白。
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张海洋 等 /2023-01-01 /清华大学出版社
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