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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787030747440 Author 作者 陈云,陈新 Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 156页 Publisher 出版社 科学出版社 Publication Date 出版日期 2023-09-01 Product Dimensions 商品尺寸 16开 Language 语种 其它（含多语） Book Contents 内容简介 半导体微结构阵列广泛存在于新一代电子器件、生物芯片和微流控芯片之中，但复杂形状、纳米尺度和数量庞大等特点，极大地加剧了其制造难度。为此，本书提出了外力引导式化学刻蚀加工微结构阵列的新方法，将金属催化粒子当做微纳尺度下的加工刀具，通过流场/电场/光场等外场等非接触式地引导其定向运动，在包括硅和碳化硅等在内的半导体块体材料内部，定向加工所需的各类复杂微结构阵列，克服传统方法难以半导体微纳结构的难题。通过研究块体材料内
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