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容栅技术【正版书籍,现货速发,可开电子发票】 线上线下同步销售,请咨询客服查询库存后下单,避免纠纷。
本书利用傅立叶分析和矩阵等不同的数学工具,从不同的角度逐步深入地分析了容栅测量系统的基本工作原理,并在此基础上对容栅传感器的原理性误差和结构性误差进行了分析等。
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微传感器 MEMS与智能器件,(英)朱利安 W.加德纳,(美)维贾伊 K.瓦拉丹,(美)奥萨马 O.阿瓦德卡里姆著,中国
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微传感器MEMS与智能器件 [英]加德纳、[美]瓦拉丹、[美]阿瓦德卡里姆 著;范茂军 译 中国计量出版社【目丰图书专营 【速开发票,优质售后,支持7天无理由退换】
微传感器和MEMS(微电子机械系统)正在使半导体工业领域发生一场新的变革。微系统也称为”芯片系统”,将微电子电路和微传感器及微执行器组合起来。这一新兴领域已经显示出它们在应用中未来发展的广阔前景,应用范围从电子鼻和智能耳到微型镊子及打印机喷墨头。 本书全面地介绍了微传感器的制作工艺,是一部论述微传感器、MEMS和智能器件成功应用的重要专著。 内容包括: 传统和新型制作工艺介绍.包括硅的体微机械加工、微立体光刻和聚合物加工工艺。 重点介绍IDT(叉指式换能器)微传感器在开发低能耗、无线MEMS或微机械中的应用。 本书涵盖了智能器件的最新应用,包括电子鼻、舌、手指,以及智能传感器和智能结构.如智能皮肤。 通过传感器阵列、传感器信号的参数补偿和专用集成电路技术的应用,对智能敏感器件的发展做了概述。 综合附录介
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