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高端集成电路制造工艺丛书：等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 （第2版）
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张海洋等作者有着深厚的学术根基以及丰富的产业经验，其带领的团队是多年来在顶级半导体工厂一线工作的科研人员，掌握了业界领先的制造工艺。他们处理实际问题的经验以及从产业出发的独特技术视角，将给读者带来启发和帮助。本书理论与实际相结合，紧跟国际技术前沿，填补国内外相关图书空白。
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正版！等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 9787302614395 清华大学出版社【可开发票】 正版图书下单即可
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