微细加工技术 刘明 编著 化学工业出版社 【速开发票，此书为单本而非一套，支持7天无理由退换】
本书较为详细地介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、极端远紫外光刻技术等。
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