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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787111637639 Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 351页 Publisher 出版社 机械工业出版社 Publication Date 出版日期 2020-01-01 Product Dimensions 商品尺寸 B5 Language 语种 其它(含多语) Book Contents 内容简介 本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等,并针对相关器件商业化难题进行了讨论,给出了两个成功案例。 本书共16章,包含4部分内容:第Ⅰ部分介绍了科研环境下广泛使用的MEMS谐振器压电材料;第Ⅱ部分介绍了相关谐振器的种类和特色;第Ⅲ部分介绍了压电MEMS谐振器的较为优选的设计理念以及建模、测试和评估方法;第Ⅳ部分介绍了压电MEMS谐振器的商业化问题,给出了相关案例。 本书面向致力于从事压电MEMS谐振器研究的工程师和科研人员,
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