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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 张海洋著 清华大学出版社
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正版书籍 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 第二版第2版 张海洋等离子体蚀刻工艺研究和应用的研究生和工程技术
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