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聚焦离子束:应用与实践
全书共分七章,从聚焦离子束的结构原理出发,紧密结合应用与实践,对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述,并配有实际案例进行进一步详解。
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自动控制系统(第3版)
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