Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787111637639 Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 351页 Publisher 出版社 机械工业出版社 Publication Date 出版日期 2020-01-01 Product Dimensions 商品尺寸 B5 Language 语种 其它（含多语） Book Contents 内容简介 本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。 本书共16章，包含4部分内容：第Ⅰ部分介绍了科研环境下广泛使用的MEMS谐振器压电材料；第Ⅱ部分介绍了相关谐振器的种类和特色；第Ⅲ部分介绍了压电MEMS谐振器的较为优选的设计理念以及建模、测试和评估方法；第Ⅳ部分介绍了压电MEMS谐振器的商业化问题，给出了相关案例。 本书面向致力于从事压电MEMS谐振器研究的工程师和科研人员，
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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787302536635 Author 作者 张洁//张朋 Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 241页 Publisher 出版社 清华大学出版社 Publication Date 出版日期 2019-12-01 Product Dimensions 商品尺寸 16开 Language 语种 其它（含多语） Book Contents 内容简介 本书在介绍品圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上，分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了品网制造中的并行机调度性能评价方法，以及原型系统的开发和应用。本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究品圆制造调度问题提供理论基础，为推动品圆制造调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。
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