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《国外电子电气经典教材系列:微机电系统基础(原书第2版)》全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文。为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例:惯性传感嚣、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法,既便于比较,又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
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微机电系统基础-(原书第2版) 9787111406570 (美)刘昶 机械工业出版社
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