扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术
本书不但介绍了扫描电镜和能谱仪的结构、原理,以及在质量检测、工艺监控和失效分析中的实际应用技术,还介绍了对样品的制备,设备的维护、保养的一些方法。而低真空、环扫电镜和SDD新型能谱检测器、平行光波谱仪等新技术更是相关专业人员急需的。
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施明哲 /2015-11-01 /电子工业出版社
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