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"1. 本书概况 光刻机常被成称为“半导体工艺皇冠上的明珠”。谁掌握了光刻机制造技术，谁可以在大国博弈中立于不败之地。本书在介绍光刻技术应用上，作者涵盖了又丰富的内容；在论述光刻技术的共内容后，该书专门开辟章节，较为详细地介绍了的极紫外光刻技术的特点和难点，从理论上揭示了极紫外光刻的技术奥秘。 2.本书 （1）本书是一本近期新的光刻技术专著，涵盖了该领域各个重要方面，既有理论的深度又有内容的广度。 （2）目前尚没有一本关于光刻技术方面的书可以与之媲美。该书凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学之精华，对于从事芯片领域的专业技术人员，这是一本手册的内容丰富的参考书。 （3）本书由ASML团队匠心翻译。"
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